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沈阳科学仪器研制中心:为自主创新奠定装备基础
来源:  作者:本站

今年,中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司搬新家了!

中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司的前身是中科院沈阳科学仪器研制中心,创建于1958年。作为中科院第二家整体转制单位,于2001年4月18日领取了公司法人工商营业执照。随着公司注册的完成,沈阳科学仪器研制中心实现了由传统体制下的科研事业单位向具有现代企业制度的有限公司转变的历史性跨越。经过五年多的努力和发展,企业走上了快速发展的轨道。由于建筑标准低、布局不合理、基础设施陈旧老化等原因,沈阳科仪公司于2006年搬迁至沈阳市浑南新区。沈阳科仪总资产2亿元人民币,占地110亩,建筑面积达35000平方米,建有真空仪器装备和IC装备发研中心、精密加工厂房、特种工艺生产线、超净装调间及检测、计量测试中心,并购置了先进的加工、检测设备,新区完全满足了科仪研发、生产方面的需求。

沈阳科仪公司的主要产品有:薄膜制备设备及IC装备、真空冶金及纳米材料制备设备、分析检测设备重大科学工程配套设备、真空部件、真空获得设备等,其核心技术是高真空、超高真空、超洁净真空技术,这就要求有先进的人力资源做基础。目前,科仪公司有员工286人,其中科技人员150多人、研究人员12人、高级工程师40余人,为“以创新为理念”奠定了坚实的基础。

以创新为理念

近年来,随着全球集成电路产业和集成电路装备制造业向中国的转移,又为公司的发展提供了新的机遇。在集成电路生产线上,约有70%的前道序工艺设备依赖于高真空、超高真空、超洁净真空技术,这正是科仪公司多年来所积累的核心技术。为此,科仪公司果断制定了进军集成电路装备制造领域的战略决策,再一次动态地调整了公司的发展战略。目前,公司按照这一发展战略的要求,积极建设具有国际先进水平的集设计、研发、生产、营销、服务和培训为一体的沈阳集成电路装备制造基地。

沈阳科仪公司凭借自身的科技优势和人才资源,积极致力于自主创新,在各项产品的生产制造过程中都有新的延伸。上海三代光源(SSRF)是我国迄今为止最大的单项科学工程,2006年7月,上海光源工程总经理率领科研处负责人与沈阳科仪公司签署了《关于合作发展上海光源光束线和实验站真空机械技术的框架协议书》,这样在首期建设的7条光束线中,科仪公司积极争取其中的5条,届时,科仪公司的创新理念将会发挥核心的作用。

这一切都依托于科仪公司的创新精神,没有创新,就没有今天的沈阳科仪公司。

以实力为保障

雄厚的实力成为沈阳科仪公司发展的坚强后盾。2006年沈阳市政府宣布的“024工程”中的“2”即形成两个具有国际影响力的IC装备核心企业集团,就有沈阳科仪公司。沈阳科仪公司IC成膜PECVD项目已被列为辽宁省重大科技专项,与其他公司联合申报的“IC装备成膜、匀胶与传输系统”项目成为沈阳市重大科技计划项目之一。
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